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特气系统（可燃性、自燃性、毒性、氧化性、侵蚀性特种气体）压力试验完成后，，，，，，，，应举行氦检漏试验，，，，，，，，并按要求做好纪录。。。。。。。。试验完成后，，，，，，，，应提交测试报告。。。。。。。。同时，，，，，，，，特种气系一切还需要做particle（颗粒度）、水分（Moisture）、氧分等的测试。。。。。。。。

三项检测：

颗粒度测试，，，，，，，，其气体流量应凭证管道直径确定，，，，，，，，测试气源的颗粒数应在划定颗粒粒径状态为零。。。。。。。。测试气体中大于0.1μm~0.3μm的颗粒数应小于或即是35颗粒

/m?，，，，，，，，一连三次达标为及格。。。。。。。。

水分测试，，，，，，，，气体速率应低于设计流速的10%，，，，，，，，且小于3m/s,测试气源的水分应小于1ppbv，，，，，，，，水分增量应小于20ppbv，，，，，，，，测试竣事后，，，，，，，，应至少坚持20min稳固在划定值以下为及格。。。。。。。。

特种气系一切氧分测试，，，，，，，，气体速率低于设计流速的10%，，，，，，，，且小于3m/s，，，，，，，，试气源的氧分应小于1ppbv，，，，，，，，氧分增量应小于20ppbv，，，，，，，，测试竣事后，，，，，，，，应至少坚持20min稳固在划定值以下为及格。。。。。。。。

三项检测完成后，，，，，，，，需要提交测试报告，，，，，，，，且需要用标准名堂，，，，，，，，详见附件：

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