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特气运送面板是气源部分很是主要的控制单位。。。。。。一样平常工艺气体从钢瓶出来，，，，，，经由高压控制盘面时，，，，，，都实现了一次调压、过滤、流量稳固、吹扫、抽真空、压力侦测等功效。。。。。。差别的气体和工艺需求，，，，，，可以凭证现真相形定制详细功效。。。。。。现阶段，，，，，，越来越多的高校实验室引入了ICP、PVD、PEVCD等装备举行芯片镀膜、刻蚀方面的研究，，，，，，这些工艺气体多是硅烷、乙烯、溴化氢等毒腐、易燃易爆性气体，，，，，，关于气源的控制要求很是高，，，，，，也给供气面板提出了许多要求。。。。。。

设计参考：

自然性、可燃性、毒性、侵蚀性气体面板应设有紧迫关断阀门，，，，，，并应为常闭气动阀门，，，，，，位置应靠近气瓶；；；；；；

气瓶压力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、侵蚀性气体面 板应设有过流开关；；；；；；

自然性、可燃性、毒性、侵蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置，，，，，，真空管路应设止回阀；；；；；；

气体面板应设置工艺气体排气口。。。。。。

可燃性特气柜设计参考：

硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/H，，，，，，且气柜的负压应一连监控；；；；；；自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器；；；；；；可燃性特种气体的气瓶柜应设置谁喷淋系统；；；；；；自燃性特种气体的气柜应在气瓶之间设置隔离钢板。。。。。。

运送控制面板的设计关于整个供气系统的便捷性、生命清静都起到很是主要的控制作用，，，，，，在设计初期，，，，，，业主需要将工艺、要求等提供应设计院作为设计依据，，，，，，同时，，，，，，在建设周期，，，，，，有须要参考响应的规范将要求落实到施工当中去。。。。。。

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